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　　低溫等離子模塊：低溫等離子體是繼固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)之后的物質(zhì)第四態(tài)，當(dāng)外加電壓達(dá)到氣體的放電電壓時(shí)，氣體被擊穿，產(chǎn)生包括電子、離子、原子在內(nèi)的混合體。放電過(guò)程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個(gè)體系呈現(xiàn)低溫狀態(tài)，所以稱(chēng)為低溫等離子體。
　　低溫等離子模塊：低溫等離子體降解污染物是利用這些電子等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在很短的時(shí)間內(nèi)發(fā)生分散，并發(fā)生后續(xù)的反應(yīng)以達(dá)到降解污染物的目的。（注：低溫等離子體相對(duì)于高溫等離子體而言，屬于常溫運(yùn)行。）等離子體反應(yīng)區(qū)含較高的物質(zhì)，如電子、離子和激發(fā)態(tài)分子等，廢氣中的污染物質(zhì)和這些具有較高能量的物質(zhì)發(fā)生反應(yīng)，使污染物質(zhì)在很短的時(shí)間內(nèi)發(fā)生分解，并發(fā)生后續(xù)的很多反應(yīng)以達(dá)到降解污染物的目的。
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